检测要求：检测硅片破损，精度0.07mm/pixel，视野150mmx150mm。
推荐光源：CST-PHFS系列
推荐控制器：CST-DPS系列
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2022-01-19
检测要求：检测硅片破损，精度0.07mm/pixel，视野150mmx150mm。
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